アイクストロンのMOCVD「AIX2800G4-TM」
1/3
次世代ディスプレー技術として高い期待を集めるマイクロLED。赤・緑・青（RGB）またはUVのLEDチップを個別に製造して実装するのか、あるいは同一ウエハー上に1色をモノリシックに作り込んでRGBに色変換するのか、はたまた全く別の作り方を創造するのか、その量産技術を確立するにはまだ乗り越えるべき高いハードルがあるが、事業化に向けて製造装置への引き合いが徐々に増えつつある。マイクロLED向けの装置引き合い状況をまとめた。
電子デバイス産業新聞
