「EUVリソグラフィー量産導入」で恩恵を受ける企業はここ! マスク/ブランクス分野では日系企業が多数 2018.04.03 06:00 公開 執筆者稲葉 雅巳 半導体製造プロセスにおいてEUV(極端紫外線)リソグラフィーが、いよいよ2018年末~19年にかけて量産ラインで適用されることになりそうだ。台湾TSMCが先陣を切るかたちで、ロジック分野に適用される見通しだが、装置・材料分野に目を移せば、日系メーカーにも恩恵を受ける企業が多く存在する。 記事の続きを読む LIMOをGoogle検索のお気に入りに登録!詳しくはこちら→ copy URL