酸化ガリウムベンチャーのノベルクリスタル、大口径化を推進 4インチ供給体制を強化

これまで「高価すぎる」「口径が小さすぎる」といわれてきた炭化ケイ素（SiC）市場が本格的な拡大期に入ってきた。これから本格的な成長軌道を描く電動自動車や第5世代通信システム（5G）などに不可欠な素材として、ウエハー、そしてこれを用いるパワー半導体や高周波（RF）デバイスメーカー、製造装置メーカーのビジネスが活発化。「2023年に100億ドルを超えるパワー半導体市場で、うち20億ドルをSiCが占める」との予測も出ており、立ち上げに向けて旺盛な投資が続きそうだ。2～3年以内に8インチ（直径200mm）SiCウエハーが登場することも予想され、そうなれば既存の半導体工場で量産しやすくなるため、投資はさらに活発化する可能性がある。直近の関連各社の動きをまとめた。

電力制御などに用いられるパワーデバイスの分野では、既存のシリコンが物性限界を迎えようとするなか、SiC（シリコンカーバイド）やGaN（窒化ガリウム）など次世代パワーデバイス材料の開発が活発化している。すでにSiCは太陽光発電用インバーターやサーバー用途、さらには電鉄用途や本命ともいえる車載分野でも徐々に採用実績が出てきた。ただ、今後の本格普及段階を前に、やはり当初からの課題である「コストダウン」については根本的な解決に至っていない。今後の量産効果を考慮しても、シリコンとの差は埋めがたいものがありそうだ。こうしたなかで、安価かつ高性能な次世代のワイドバンドギャップ（WBG）材料として注目を集めているのが、酸化ガリウムである。

富士電機㈱の2020年4～6月期決算で電子デバイス事業（半導体＋ディスク媒体）の業績は、売上高が前年度比6％増の350億円、営業利益は同18％減の27億円だった。半導体は新エネルギーと電気自動車（xEV）向け、ディスク媒体はデータセンター向けが好調で、いずれも売上高が前年同期実績を上回った。